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iTronix?系列化學氣相沉積系統
iTronix?系列化學氣相沉積（CVD）系統采用自主研發的反應腔室和電氣軟件集成化服務，在邏輯、存儲、先進封裝、顯示器件等芯片制造領域具有廣泛應用，可滿足多種功能性薄膜沉積工藝的開發和應用需求。搭載新型平臺可安裝更多反應腔以滿足高產能需求。
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產品特點
高精度壓力調節控制技術，提高薄膜階梯覆蓋率
1
可以控制膜的成份和結構，滿足多元摻雜工藝需求
2
自主研發高精度制程邊緣控制技術，減少晶圓去邊，提高晶圓利用率
3
帶ESC多區加熱陶瓷盤，可以實現高溫工藝，減少背面沉積，避免等離子體損傷
4
自主設計的多區域吹掃功能，減少顆粒污染，延長清洗周期
5
多區域溫度控制設計，溫度控制精度高，薄膜均勻性好
6
前臺熱線：
0510-81975900
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